케이씨텍(대표 고석태·이순창 www.kctech.co.kr)은 LCD 전공정 핵심 장비인 스핀리스 코터· 트랙시스템·APP클리너·CO2 클리너·가스 캐비넷 등을 선보였다.
스핀리스 코터는 감광액(Photo Regist)을 유리기판에 코팅 장비의 일종으로 LCD 전공정 핵심 장비로 손꼽히고 있다. 케이씨텍은 기판을 회전시키는 대신 감광액 분사 노즐을 회전시키는 스핀리스 코팅 방식을 채택해 포토레지스트를 절감, 비용 절감을 가능케 했다. 또 이 제품을 중심으로 크리너·디벨로퍼·오븐·로봇 등의 장비를 인라인화해 LCD 패널 생산성을 획기적으로 개선시킨 트랙 시스템도 개발을 끝내고 이번 전시회에 출품한다. 트랙 시스템은 세계적으로도 1∼2개 업체만이 개발한 제품으로 향후 시장점유율 확대가 기대되고 있는 제품이다.
APP 클리너는 상압에서도 플라즈마를 사용 가능하도록 제작해 표면개질 성능을 획기적으로 개선시킨 제품으로 현재 LCD 제조 공정 뿐만 아니라 PCB 제조공정에서도 사용되고 있다. 이 장비는 이물제거 및 도금, 에칭 공정 전에 사용해 약액(Chemical)의 침투율을 증가시켜 생산수율을 향상시킬 수 있고, 코팅이나 접착 전에 사용하면 접착력이 높아지는 등 PCB 관련 제품 표면 처리에도 아주 유용한 제품이다.
CO2 클리너는 액체상태의 CO2를 자체 고안된 노즐을 통해 고체 상태인 드라이아이스로 만들어 세정대상물의 표면에 분사하여 유기물과 이물을 제거할 수 있는 제품이다. 이 장비는 약액을 사용하지 않는 청정 공정으로, 폐기물 배출이 없어 향후에 더욱 각광 받을 수 있는 친환경적인 세정 장비이다.
심규호기자@전자신문, khsim@