반도체 제조시설의 굴뚝에 염화수소 배출수치를 자동으로 측정해 관제센터로 전송하는 자동측정기가 부착된다.
환경부는 28일 이 같은 내용의 대기환경보전법 시행령 및 시행규칙 개정안을 29일자로 입법예고했다.
개정안에 따르면 반도체 제조공장의 증착(막을 입히는 일), 식각(웨이퍼의 불필요한 부분 제거) 시설은 염산 및 염화수소를 사용하기 때문에 굴뚝에 염화수소 배출측정기기를 부착하기로 했다.
이 장치를 달면 실시간으로 배출자료가 대기관제센터 및 업체 측에 전송되며 허용기준을 넘을 것 같으면 경보가 울린다.
개정안에는 유기용제류를 사용하는 인쇄·건조·코팅시설은 휘발성유기화합물(VOC)을 배출해 환경오염을 유발하므로 대기오염물질 배출시설 대상에 추가한다는 내용도 포함돼 있다.
아울러 굴뚝자동측정기기를 부착한 시설은 그렇지 않은 시설과 형평성을 고려해 행정처분을 완화하기로 했다.
자동측정기기를 부착한 시설이 배출기준을 반복 초과해 조업정지·허가취소·폐쇄 등의 행정처분을 받아야 할 상황이더라도 개선명령을 내리고 소각시설에서 폐기물을 태우기 전 온도를 올리는 과정에서 배출허용기준을 일시적으로 초과하더라도 처분하지 않기로 했다.
심규호기자@전자신문, khsim@