주성엔지니어링(대표 황철주)은 반도체장비의 경쟁력 강화를 위해, 기화기 및 액상원료 운반시스템과 관련된 특허 2건을 취득했다고 4일 밝혔다.
주성이 취득한 기화기 관련 특허 기술(특허명 기화기)은 액상소스원료를 기화시켜 이를 화학기상증착장비(CVD) 공정이 수행되는 진공챔버로 공급하는 장치다. 노즐효과 극대화를 통해 CVD의 성능과 정밀도를 높일 뿐 아니라, 가스로 구현되지 않는 액상 형태의 원료를 원활하게 기화시키는 역할을 수행한다.
지금까지 CVD용 화학원료는 대부분 가스 형태로 공급돼 왔으나, 재료의 첨단화로 기체 상태에서 안정적으로 존재하는 않는 원료들이 늘어나면서 기화기의 역할이 커지고 있다.
액상원료운반시스템 관련 특허(특허명 기체 믹싱 포트 및 이를 이용한 액상반응원료 운반시스템)는 CVD 공정에서 기화된 액상원료를 반응기 내로 원활히 공급하는데 필요한 기술이다. 여러 종류의 액체원료를 각각 기화시켜 이를 반응기에 공급할 때 기화된 기체원료의 효과적인 혼합을 유도함으로써 박막형성의 재현성을 향상시킬 수 있다.
심규호기자@전자신문, khsim@