‘2007 신기술실용화촉진대회’에서 대통령표창을 수상한 엘오티베큠(대표 오흥식 www.lotvacuum.com)은 영국·프랑스·독일·일본 등 외국계 업체가 주도하고 있는 반도체 및 디스플레이용 건식진공펌프 시장에서 유일한 국내 기업으로 선전하고 있다.
기술력으로 무장한 기업답게 지난 2004년 벤처기업으로 선정됐고 올 11월에는 삼성전자 국내법인 및 삼성전자 미국 텍사스 오스틴공장 등에 잇달아 반도체 진공펌프, 반도체공정용 건식진공펌프 등의 대규모 계약을 체결하면서 주목받고 있다.
특히 올 들어서는 설립 6년만에 수출 1000만 달러를 달성하는 한편 설립 초기 기술이전을 받았던 독일로 태양광 제조용 진공펌프를 역수출하면서 제 궤도에 올라섰다는 평가를 받았다.
이 회사는 또 지난 9월에는 과학기술부로부터 반도체 기술대상 과기부총리상을 수상했고 10월엔 ISO/IEC 27001 인증을 획득하면서 승승장구하고 있다.
엘오티베큠은 제품의 다양성과 시장성에서도 인정받는 기업이다. 주력제품인 반도체 건식 진공펌프 ‘듀라드라이’ 시리즈는 현재 국내에서 4000대 이상 운용되고 있으며 DD105와 DD605, DD1205 그리고 최근 출시된 대용량 펌프용 DD255 등의 제품은 펌핑 속도와 도달 진공도 등에 있어서 월등한 성능으로 사용자들로부터 호평을 받고 있다.
그 가운데서도 DD255는 반도체 및 태양광을 비롯해 LCD, OLED 등 설비에 필요한 대용량 펌프로서 급증하고 있는 사용자 요구를 충족시켜주는 제품으로 인정받고 있다. 이 제품은 필드테스트를 거쳐 지난해 반도체·디스플레이 장비업체인 에스에프에이 등에 공급한 바 있다.
또 지난해 10월 개발한 ‘LD105’ 제품의 경우 기존 제품군 대비 65％ 가량의 전력소모를 줄이는 한편 면적도 52％ 정도 줄이면서 저소음·저진동 등을 달성했다.
오흥식 엘오티베큠 사장은 “이번 수상을 계기로 향후 미국, 유럽 등 반도체 및 태양광 시장 개척에 주력할 것”이라며 “이와 동시에 고객의 요구에 부응하는 신규 제품개발에도 더욱 박차를 가해 반도체 장비의 국산화와 함께 반도체산업의 국가 경쟁력 향상에도 기여하겠다”고 수상 소감을 밝혔다.