유진테크, 반도체 관련 3개 특허취득

유진테크는 ▲산화방지막 제조장치 ▲LCD제조장비용 서셉터 ▲ 파티션 구조형 가열유닛과 이를 이용한 히팅장치 등 반도체 관련 특허 3개를 취득했다고 3일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr