두께 1㎜ 유리 기판을 15분 만에 0.6㎜ 두께의 얇은 유리 기판으로 만드는 식각 장비를 국내 한 중소기업이 개발했다.
코젝스(대표 조태헌 www.kozex.com)는 5세대(1100㎜×1300㎜) TFT LCD 및 능동형 유기발광다이오드(AM OLED) 기판을 얇게 만드는 슬리밍 식각장비를 개발했다고 6일 밝혔다. 얇은 유리기판은 소형·슬림화가 필요한 노트북PC나 내비게이션용으로 수요가 증가해 앞으로 두꺼운 유리기판을 얇게 만드는 식각장비 수요도 늘어날 전망이다.
코젝스가 개발한 장비는 약품이 담긴 탱크에 유리기판을 담가서 유리를 식각하는 딥방식에 비해 시간을 절약할 수 있을 뿐 아니라 식각 후에도 유리면이 고르기 때문에 추가 연마작업이 필요없다. 단면기준으로 분당 0.02㎜를 식각할 수 있다.
강영빈 부사장은 “식각장비의 핵심은 식각액과 장비는 물론 식각 후 유리기판의 막 균밀도와 빛 투과성, 색 재현성 등을 유지하기 위한 공정기술이 필수적”이라고 설명했다. 강 부사장은 “식각 공정의 문제로 지적돼 온 슬러지 문제도 자체 처리장치를 이용해 해소했고 불소 이온 농도를 자동 분석하는 시스템을 도입해 약액의 농도를 자동으로 유지할 수 있게 해 폐액 발생을 최소화했다”고 덧붙였다.
코젝스는 개발한 습식에칭장치에 대해 특허를 취득했고 ‘상부거치형 습식에칭장비’ 및 ‘포토레지스트용 유리가공방법’ 등 2건의 특허를 출원중이다. 코젝스는 식각장비와 관련, 국내 업체 및 대만 지역 업체들의 문의가 잇따라 올해 200억원대의 매출로 이어질 것으로 내다봤다.
한편, 이 회사는 코젝스는 기존에 개발한 장비를 통해 4세대(730㎜×920㎜) 기판 이하의 제품을 화학식각만을 이용해 처리할 수 있는 시스템을 구축, 국내업체에 공급했다.
주문정기자@전자신문, mjjoo@