고려반도체, 이젝트 핀 관련 특허취득

고려반도체시스템은 MEMS 기술을 이용한 반도체 소자 제조설비의 볼납어태치 툴용 이젝트 핀의 제종방법에 대한 특허를 취득했다고 9일 공시했다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr