디엠에스,FPD기판 특허 취득

디엠에스가 FPD 기판 처리장비에 대한 특허를 취득했다고 16일 공시했다.

또 이회사는 진공을 이용한 대면적 마스크 고정장치 및 그를 이용한 노광장치와 노광방법에 대한 특허도 얻었다.

전자신문인터넷 이희영 기자 hylee@etnews.co.kr