산업용 로봇업체 나온테크(대표 김원경)는 최대 4개의 웨이퍼를 동시에 옮기는 다관절 웨이퍼 이송로봇을 개발했다고 18일 발표했다. 이 로봇은 4개의 기계팔이 독립적으로 구동돼 시간당 440매의 웨이퍼를 처리할 수 있다.
기계팔 2개로 움직이는 일반 웨이퍼 이송로봇에 비해 작업능률은 두 배 향상됐지만 기계구조는 더욱 단순화시켰다고 회사측은 설명한다.
나온테크는 신형 웨이퍼 이송로봇을 이용한 고속 EFEM 모듈도 함께 개발하고 국내외 반도체업계에 마케팅 활동을 강화할 방침이다.
배일한기자@전자신문, bailh@