로체시스템즈,반도체 이송장비 특허

로체시스템즈가 사이드 에지형 웨이퍼 클램핑 핸드에 관한 특허를 취득했다.

이 기술은 웨이퍼의 측면(사이드 에지)를 접촉(hold)하여 웨이퍼를 이송하는 기술로서, 종래 기술보다 클램핑시간과 이송동선을 단축시킴으로서 생산성을 향상시킨 기술이다.