지난 2006년 영국에서 생산·공급하던 300㎜ 이상급 차세대 오버레이 장비를 국내로 이관해 화제가 된 미국 나노메트릭스가 이번에는 미국 본사의 반도체 박막 두께 측정 장비와 오버레이 부품사업까지 확대했다. 우리나라를 전략적 연구개발(R&D)과 생산의 거점으로 삼겠다는 의지로 풀이됐다.
28일 나노메트릭스코리아(대표 최종립 www.nanometrics.co.kr)는 앞으로 새로 개발하는 오버레이 장비 및 매크로 인스펙션도 모두 국내에서 생산하는 한편, 아시아권 고객 서비스 및 개발을 위해 최첨단 부품 및 기술도 미국에서 한국으로 이전하기로 했다. 세계 1·2위를 다투는 주력 제품인 박막두께 측정장비도 국내로 이전하기로 하고 기술이전을 진행중이다.
나노메트릭스코리아 관계자는 “반도체 선진국인 영국과 미국에 흩어져 있던 오버레이 생산시설을 한국으로 이전한 것도 중요하지만 외국계 한국기업이면서 한국에서 생산한 제품을 전세계에 공급하는 장비업체가 나노메트릭스코리아 외에는 없다”며 “다른 기업이 한국 투자를 결정하는 데도 좋은 사례가 될 것”이라고 설명했다.
나노메트릭스코리아는 연구개발 분야에도 반도체 박막 측정을 하는 장비 개발을 위해 지난해 해당 인원을 충원했으며 미국으로부터 기술이전 작업을 진행중이다.
나노메트릭스코리아는 단순 장비 생산에서 그치지 않고 하이닉스반도체 등 국내 반도체 업체와의 공동개발 프로젝트를 통해 반도체 매크로 인스펙션 장비를 국산화에 성공, 공급하고 있다. 새로 부각된 옵티칼크리티컬디멘션(OCD(Optical Critical Dimension) 분야에도 국내 소자 업체와 공동 기술 개발을 협의 중이다.
최종립 나노메트릭스코리아 사장은 “본사 차원에서 전개하던 사업을 잇달아 한국으로 이관하는 것은 세계 제일의 메모리 소자 업체들이 한국에 있고 이들 업체의 장비 국산화 열정이 크게 작용했다”고 밝혔다.
주문정기자@전자신문, mjjoo@