전자 부품 유진테크,플라즈마 이용한 웨이퍼표면 처리기술 특허 발행일 : 2008-01-29 14:29 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 유진테크가 고주파 구동 유도 결합 플라즈마를 이용한 웨이퍼 표면처리장치에 대한 특허를 취득했다.
