조만간 값싸면서 나노수준으로 크기를 줄인 다양한 반도체 소자들이 출시될 전망이다.
포스텍(POSTECH) BK21 지식산업형소재시스템사업단 김형준 교수(신소재공학과)와 김우희 박사과정은 반도체 소자를 제작하는데 필수적인 고가의 패터닝 공정을 거치지 않아 제작 비용을 크게 줄일 수 있는 나노구조물 제작 기술을 개발했다고 31일 밝혔다.
이들은 알루미늄박막에 자기조립 기술을 적용, 균일한 나노크기 구멍을 가진 자기조립 나노틀(nanotemplate)을 만든 뒤 균일도와 정렬도가 우수한 나노구조물을 얻는 기술을 개발했다.
이번 연구결과는 영국 물리학회(IOPInstitute of Physics)가 발간하는 나노테크놀로지(Nanotechnology) 30일자 표지논문으로 소개됐다. 이 학회지는 “김 교수팀의 기술이 나노막대와 나노점 등을 다양한 형태로 제작할 수 있어 나노 구조물의 대면적 제조 공정 개발의 가능성을 열었다”며 “향후 나노센서, 나노메모리소자 등 당야한 나노전자소자 제작에 활용될 수 있늘 것”이라고 평가했다.
김형준 교수는 “나노 구조물 제작에서 필수 항목인 고가의 패터닝 과정을 생략함으로써 나노소자의 생산비용을 절감하고 다양한 나노 구조물을 얻는데 유용하다”고 설명했다.
포항=정재훈기자@전자신문, jhoon@