식각(에칭) 전문업체인 이노루트(대표 이기정 www.innoroot.com)는 5세대(1100㎜×1300㎜) LCD용 유리기판의 두께를 0.17㎜(170㎛)까지 얇게 만들 수 있는(슬리밍) 기술의 개발에 성공했다고 4일 밝혔다.
이 기술을 적용하면 사용 중인 5세대용 유리기판의 두께(1.4㎜)와 무게를 80% 이상 줄일 수 있어 LCD 패널 슬림화에 크게 기여할 수 있다. 14인치 노트북용 유리기판을 한번에 20장까지 동시에 생산할 수 있어 생산성 향상 효과도 크다.
이 업체는 현재 5세대 유리기판을 0.6㎜ 두께까지 줄일 수 있는 설비를 갖추고 양산에 나서고 있다.
이노루트는 초박판 유리의 표면을 녹이는데 주로 사용하는 불산(HF)을 사용하지 않는 친환경적인 정밀화학약품과 장비를 자체 개발했다. 화학 반응시 생성물인 슬러지를 연속제거하는 공정도 보유해 기판의 균일한 표면처리에도 강하다.
이를 통해 반도체 웨이퍼 및 LCD용 유리기판을 슬리밍하는 사업을 펼치고 있다. 일본과 대만을 대상으로 장비 수출도 추진 중이다.
이기정 사장은 “5세대 대형 유리기판을 0.17㎜ 두께까지 양면에서 균일하게 깎는 기술은 고난도 기술을 요구하는 것”이라며 “일본업체와의 사업 협력을 통해 식각 장비 및 케미컬 수출로 90억원의 매출을 달성할 것”이라고 말했다.
양종석기자@전자신문, jsyang@