일본 도시바와 NEC가 탄소나노튜브(CNT)를 비롯한 나노기술 연구에 한창이다. NEC는 인쇄기술을 이용한 CNT 트랜지스터를 개발 중이며, 롤 투 롤(roll to roll) 방식으로 대량 양산이 가능하다. 유기소자나 플렉시블 디스플레이에 활용할 계획이다. 또한 포토리소그래피 기술을 활용하는 삼성의 CNT 트랜지스터보다 공정 간소화와 가격면에서 경쟁력이 있다는 주장이다. 그렇다면 도시바는 어떤 기술로 나노시대를 개척하고 있을까.
“도시바는 수년 전부터 반도체와 PCB를 연결하는 CNT 와이어 연구에 집중하고 있습니다. 고성능·고효율 소자로서 미래가 촉망되는 분야입니다”
도시바 기술기획실 그룹장인 사이토 시로 박사는 도시바가 주력하는 연구분야로 CNT 와이어를 꼽으며 장점들을 설명했다. CNT 와이어는 기존의 구리 와이어보다 굵기가 가늘어 반도체 집적도를 높일 수 있고, 긴 수명을 자랑한다.
그는 “나노는 무한한 가능성을 열어줄 핵심 기술로 가까운 미래에 전자산업의 판도를 바꿀 것으로 본다”며 “도시바는 CNT 와이어가 상당히 어려운 분야임에도 불구하고 향후 성장성을 기대하고 연구에 박차를 가하고 있다”고 설명했다. 도시바는 CNT를 와이어뿐만 아니라 플라즈마 CVD(화학증착장치) 등 다양한 공정에 시험 적용하면서 핵심 기술로서의 가능성을 엿보고 있다.
사이토 시로 그룹장은 “탄소나노칩을 사용한 트랜지스터와 연료전지도 현재 활발한 연구가 진행되고 있다”면서 “CNT나 탄소나노칩 등이 향후에 많은 성과를 몰고 올 기술”이라고 강조했다.
도시바는 최근 IT업계에 불고 있는 친환경·에너지 제품에도 관심을 가지며 원자력 시스템과 산화탄소 흡수 세라믹(Carbon oxide absorption ceramic)에도 집중하고 있다.
사이토 시로 그룹장은 “원자력 시스템은 (환경오염의 주범인) 이산화탄소 배출을 줄이면서도 에너지 생산에 효과적인 수단”이라고 설명했다. 그는 이어 “산화탄소 흡수 세라믹이 자동차나 파워플랜트 등 응용분야가 매우 많은 아이템”이라면서 사업성을 높이 평가했다.
도쿄(일본)=설성인기자@전자신문, siseol@