유진테크, 기판 지지대 관련 특허취득

유진테크는 기판 주변부 지지대 지지 장치에 대한 특허를 취득했다고 12일 공시했다.

해당 장치는 월 커버상에 기판 주변부 지지대를 지지하는 장치를 설치하는 것을 특징으로 하는 화학기상 증착 장치의 제작을 용이하게 하는 효과가 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr