물류·공장자동화 설비 및 LCD 장비 전문업체인 에스에프에이가 LCD 전공정 핵심장비인 플라즈마 화학증착장치(PE CVD)를 양산 개발하는 데 성공했다. PE CVD 국산화는 선두권 장비업체인 주성엔지니어링에 이어 두 번째다. 삼성전자 LCD총괄의 장비 협력사론 처음이다. 삼성전자 LCD총괄은 그동안 핵심 CVD 장비를 해외 업체에 의존해와 이번 장비 국산화로 인한 구매처 다변화 효과가 더욱 클 것으로 보인다.
18일 업계에 따르면 에스에프에이(대표 신은선)는 최근 LCD 전공정 핵심 장비인 PE CVD를 개발하고, 이르면 상반기중 충남 탕정의 삼성전자 8-1 세대 2단계 라인에 공급할 계획이다. 지금까지 삼성전자 LCD총괄은 PE CVD 거의 전량을 세계 최대 장비업체인 미국 어플라이드머티리얼의 자회사인 ‘AKT’로부터 발주해왔다.
LCD 전·후공정 장비 가운데 상당수를 국내외 업체들이 복수 공급해왔지만 핵심 CVD 장비만큼은 미국 AKT가 독식해왔다는 게 업계의 정설이다. 업계 관계자는 “CVD가 핵심 공정장비인 탓에 삼성전자는 안정성을 우려해 세계적으로 검증된 AKT 장비만 써왔다”면서 “이 때문에 LG디스플레이에 비해 비싼 가격에 조달해 온 것으로 알고 있다”고 말했다.
에스에프에이가 CVD 장비 국산화에 성공함에 따라 삼성전자는 향후 가격 협상력 등에서 유리한 지위를 점하는 것은 물론, 안정적인 장비 수급에도 도움이 될 것으로 보인다. 실제 AKT는 이번 에스에프에이가 PE CVD 양산 장비 개발에 성공하자 자사 8세대 CVD 장비가격을 상당폭 낮춘 것으로 알려졌다.
이에 앞서 주성엔지니어링은 지난 2002년 국내 처음 PE CVD 장비를 개발한 뒤 LG디스플레이에는 꾸준히 양산 공급해왔지만 삼성전자에 공급하지 못했다. 삼성과 LG간의 수직계열화 관행이 지속되었기 때문이다. 반면, AKT는 LG디스플레이의 지난 7세대 라인의 CVD 장비 발주물량의 절반 이상을 가져갔던 것으로 알려졌다.
서한기자@전자신문, hseo@etnews.co.kr