반도체장비 부품회사인 그린트위드코리아(대표 김경갑 www.gtweed.com)는 반도체·디스플레이 장비에 사용하는 실링용 오링(O-Ring) 신제품 ‘켐라즈(Chemraz) XCD’를 출시했다고 19일 밝혔다. 실링용 오링은 반도체장비의 기밀성을 유지하기 위해 사용 되는 O자 형태의 과불소탄성체다.
그린트위드 측은 신제품이 최고 300도의 고온에도 매우 낮은 압축성을 보여 실링 수명을 늘릴 수 있다고 설명했다. 특히 LPCVD(Low Pressure Chemical Vapor Deposition), RTP(Rapid Thermal Processing)와 같은 반도체 열 공정에 매우 적합한 제품이라고 강조했다.
마린 브라운 그린트위드 반도체사업부장은 “켐라즈XCD는 그린트위드가 플라스마 CVD와 에칭 분야에 적용했던 우수한 재료·설계 기술을 반도체 열 공정에 응용한 제품”이라고 소개했다.
설성인기자@전자신문, siseol@