테크노세미켐,LCD식각액 기술 특허 취득

테크노세미켐이 실리콘산화막 및 실리콘질화막 식각용 식각액 조성물에 관한 특허를 취득했다.

이 기술은 LCD 제조 공정 중 contact hole 형성을 위한 산화막 식각시 상부 질화막과의 선택비로 인하여 나타나는 undercut 현상을 방지하기 위한 저 선택비의 산화막 식각액 기술이다.