전자 부품 주성엔지니어링, 반도체장비 특허취득 발행일 : 2008-04-21 15:26 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 주성엔지니어링은 분리형 이송 챔버 및 원자층증착장치의 가스밸브 어셈블리 등 반도체장비 관련 특허를 취득했다고 21일 공시했다. 전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr
