로체시스템즈, 웨이퍼 이송 관련 특허

로체시스템즈는 회전식 핑거구가 구비된 웨이퍼 정렬용 앤드이펙터에 대한 특허를 취득했다고 29일 공시했다.

해당 기술은 웨이퍼 이송시 위치를 쉽게 수정할 수 있어 작업공정 및 작업시간을 단축, 스크래치 발생 방지, 손상 방지 등의 효과로 공정 효율성을 향상시킬 수 있다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr