동부하이텍(대표 오영환 www.dongbuhitek.co.kr)이 반도체 생산 불량률 0%에 도전한다.
동부하이텍은 지난 1분기에 반도체 생산 불량률 1.04%를 기록, 세계적인 파운드리의 평균 불량률인 1% 수준까지 낮췄다고 15일 밝혔다.
동부하이텍 관계자는 “반도체 생산 불량률은 웨이퍼 투입 후 약 1∼2개월의 시간이 소요되는 반도체 제조공정 과정에서 불량을 일으키는 비율”이라며 “선진 파운드리의 경우 불량률이 약 1% 수준인 것을 감안하면 동부하이텍의 품질관리 능력이 업계 최고 수준에 올라섰다는 뜻”이라고 설명했다.
동부하이텍은 품질개선 목표를 달성할 때까지 품질과 관련된 모든 과정을 관리하는 불량예방 전담 조직인 DM(Defect Management)을 통해 불량률을 1% 수준으로 낮췄다. DM은 수율관리시스템(YMS:Yield Management System), 설비분석시스템(FDC:Fault Detection & Classification), 고장영향형태분석 툴(FMEA:Failure Mode and Effect Analysis), 변경점관리시스템 등 4개 주요 품질 관련 시스템을 관리하는 조직이다.
동부하이텍은 또 회로 선폭·온도·압력 등 공정 및 장비에서 발생하는 관리항목을 관리하는 ‘마이 머신(My Machine)’, ‘마이 파라미터(My Parameter)’ 제도를 만들었다. 각 제조 장비와 각각의 개별 관리 항목을 전담하는 엔지니어를 배치해 주인의식과 책임의식을 높인 것이 품질개선에 큰 영향을 미쳤다고 밝혔다.
동부하이텍 관계자는 “지난해 품질향상 활동 목표는 업계 세계 최고 수준인 1% 불량률이었지만 이 목표를 이미 달성해 앞으로 소수점 불량률 경쟁으로 들어가게 될 것”이라며 “올해에는 불량률 0%에 도전하겠다”고 밝혔다.
동부하이텍은 올 들어 수율괄리시스템과 설비분석시스템을 통합운영하는 생산관리시스템을 구축, 생산라인에서 실시간으로 회로 선폭·박막 두께·온도·압력 등 생산 관련 데이터를 상호 연계해 분석한다.
주문정기자 mjjoo@