반도체장비 부품회사인 그린트위드코리아(대표 김경갑 www.gtweed.com)는 반도체·디스플레이 장비에 사용하는 실링용 오링(O-Ring) 신제품 ‘켐라즈(Chemraz) 667’을 개발했다고 14일 밝혔다. 이 제품은 플라즈마 내성이 있으며 실링 수명을 개선한 것이 특징이다.
최대 300도에서도 매우 낮은 압축 변형율을 보이며 기존 제품에 비해 갈라짐 현상을 대폭 줄인 것도 장점이다. 이에 따라 반도체 웨이퍼 수율을 향상시킬 수 있다고 회사 측은 설명했다.
설성인기자@전자신문, siseol@