전자 부품 유진테크, 반도체장비 관련 특허취득 발행일 : 2008-05-20 11:38 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 유진테크는 히터 써포트 및 이를 이용한 화학기상증착장치와 씰 장착부를 구비한 분할형 이송챔에 관한 특허를 취득했다고 20일 공시했다. 전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr
