“가장 중요한 것은 역시 소자업체와 장비업체 간 상생협력입니다.”
최근 제주에서 열린 ‘나노반도체장비상용화사업 워크숍’을 총지휘한 김용태 반도체장비상용화사업단장(54)은 “소자업체와 장비업체가 혼연일체로 장비 국산화를 위해 협력하는 모습에서 희망을 봤다”며 이같이 말했다. 워크숍에는 이해관계를 떠나 반도체 장비 관련 전문가가 가장 많이 모였다. 반도체 장비 분야 전문가만 200명 이상 모인 것은 이번이 처음이다.
김 단장은 “양산라인에서 성능을 평가한 결과에 따라 삼성전자와 하이닉스반도체가 라인 특성에 맞으면 쓰고, 바꿔야하는 것은 별도의 규격을 제시해 장비업체들이 따라올 수 있도록 운영되는 성능평가협력사업은 고무적”이라고 밝혔다.
그는 반도체장비상용화사업단이 발족한 이후 ‘언제까지 어떤 것을 개발한다’고 로드맵을 제시한 장비개발프로그램도 장비업계엔 새로운 나침반이 될 것이라고 덧붙였다. 장비 수요업체인 소자업체가 필요한 로드맵을 직접 제시하고 소자업체와 장비업체·학계·연구계가 협력해서 개발하는 시스템으로 돼 있어 예측 가능한 연구를 할 수 있게 됐기 때문이다.
김 단장은 “세계 1, 2위의 소자 업체가 국내에 포진한 것은 장비업계에 커다란 행운”이라며 “소자업체와 장비업체의 협력이 시너지를 내면 2015년까지 세계 3위 반도체장비 국가로 발돋움 하는 것도 문제 없다”고 말했다.
김 단장은 또 “반도체 장비 국산화율을 높이기 위해 국제 공동연구도 함께 진행돼야 한다”고 강조했다. 과거에는 주로 소자업체들이 세마텍 등에 참여해 공동개발을 해왔지만 이제는 장비업체들도 국제 공동연구에 동참해야 선진국 대열에 올라설 수 있다는 게 그의 지론이다.
김 단장은 “최근 일본 미라이프로젝트 측에서 그동안 끊겼던 국내 소자업체들과의 공동연구를 제안해 왔는데 여기에 장비업체들도 함께 참여해 공정개발을 할 수 있도록 해보자고 역제안을 한 상태”라며 “앞으로는 장비업체들도 국제공동연구에 활발하게 참여해야 한다”고 말했다.
최근 반도체 업계의 관심사로 떠오른 450㎜ 웨이퍼와 관련해 “아직 표준화에 대한 논의나 어떤 전략으로 대응해 나가야 할지 로드맵이 만들어지지 않았기 때문에 섣불리 이야기하기 어렵지만 450㎜ 웨이퍼는 우리나라 반도체산업에는 위기이자 기회가 될 것”이라고 밝혔다. 그는 “450㎜ 웨이퍼는 소자·장비업계와 정부·학계·연구계가 서로 벽을 허물고 논의하는 장을 제공할 것”이라며 “우리나라 반도체 산업이 도약할 수 있을지 선진국 대열에 올라서지 못할지 중요한 시기임에는 틀림없다”고 강조했다.
주문정기자 mjjoo@
사진=정동수기자@전자신문, dschung@