엔씨비네트웍스, 웨이퍼볼 검사장치 관련 특허

엔씨비네트웍스는 DMD 모아레무늬 발생기를 이용한 비점수차 위상천이 자동초점장치 및 방법에 대한 특허를 취득했다고 15일 공시했다.

해당 기술은 현재 국책과제로 진행중인 3차원 초미세 웨이퍼볼 검사장비의 개발에 활용될 예정이다.

전자신문인터넷 조정형기자 jenie@etnews.co.kr