한국과 미국의 반도체 산·학·연 컨소시엄이 공동 추진하는 연구 프로젝트가 출범 1년 만에 특허 10건을 출원하는 등 순항하고 있다.
‘한미 국제 협력 공동연구 프로젝트’에 참여한 양국의 반도체 연구기관은 R램, Re램, 슬러리, 에처 등에 관련한 특허 10건을 국내외에 출원했다고 12일 밝혔다.
스탠퍼드 대학과 버클리 대학 등과의 공동 연구개발로 삼성전자와 하이닉스반도체, 아토 등 국내기업이 P램과 Re램 관련 특허 5건을 출원했다. 국내에서 자체적으로 확보하기 어려운 설계기술 확보를 거쳐 세계 시장 점유율 2%에 불과한 국내 비메모리 반도체 분야의 기술경쟁력을 끌어올릴 수 있을 것으로 기대된다. 특히 비휘발성 메모리, 구리배선 등 차세대 공정 원천기술의 조기 선점을 통해 메모리 분야 경쟁국과의 기술격차를 벌릴 수 있을 것으로 반도체연구조합은 내다봤다.
케이씨텍과 DMS 등 국내 반도체장비업체는 댈러스 대학과 공동개발을 통해 슬러리·에처 개발과 관련한 특허 5건을 출원했다. 22∼23나노급 차세대 나노공정 장비 등의 선행기술 공동개발과 함께 국내 장비·재료 분야 중소기업의 글로벌 네트워크를 구축함과 동시에 자립할 수 있는 기반을 마련했다는 평가다. 반도체연구조합 측은 앞으로 R&D와 상용화를 통해 2015년에 목표로 잡고 있는 장비국산화율 50%와 재료 국산화율 75%를 달성하는 데 기여할 것으로 내다봤다.
지식경제부는 1단계(2007∼2009년)에는 반도체 중심지인 서부 실리콘밸리와 남부 텍사스에 있는 대학·연구소·관련기업과의 공동 R&D로 원천기술을 확보하는 데 주력하고 2단계(2009∼2011년)에는 국내의 메모리 및 장비·재료 업체와 미국의 비메모리업체 간 전략적 파트너십을 위한 성능평가 사업으로 확대해 나갈 계획이다.
지경부 관계자는 “한미 자유무역협정(FTA) 이후 확대될 기업·인력·기술 교류 가능성을 감안할 때 한미 기술협력사업은 향후 반도체 업계 전반으로 기술협력이 확대되는 촉매제로 작용할 것”이라고 밝혔다.
주문정기자 mjjoo@