동진쎄미켐, 구리 배선용 화학-기계적 연마슬러리 조성물 특허

동진쎄미켐이 산성 영역에서 콜로이달 실리카의 분산안정성과 과산화물 산화제의 분해 안정성이 뛰어난 구리 배선용 화학-기계적 연마슬러리 조성물에 대한 특허를 취득했다.

전자신문인터넷 이희영 기자 hylee@etnews.co.kr