‘제4의 물질’이라 불리는 플라즈마.
기체보다 입자가 안정된 상태에서 정밀 가공과 표면 처리가 가능하고 환경 오염이 없는 친환경 기술로 무한한 산업적 가능성이 기대된다. 반도체·LCD 공정의 경우, 이온주입이나 플라즈마 에칭, 플라즈마 화학기상증착(PE CVD), 스퍼터링과 표면처리 등의 다양한 공정 기술에 쓰인다. PCB 표면처리나 나노 입자 생산, 나노 두께의 표면처리도 플라즈마 기술을 통해 가능하다.
뉴파워프라즈마(대표 최대규)는 플라즈마 관련 기술과 핵심 장치를 국산화한 데 이어 이를 바탕으로 반도체 공정의 핵심 부품과 장비를 개발한다. 이 회사는 1997년 반도체 CVD나 스퍼터링 장비 내부에서 플라즈마를 발생시키는 RF제너레이터의 국산화에 성공한 데 이어 매칭네트워크·플라즈마 클리너 등을 잇달아 국산화했다. 또 반도체 라인의 세정 공정에 쓰이는 PFC 계열의 유해 잔류 가스를 완전 분해해 지구 온난화 방지에 기여하는 리모트 플라즈마 제너레이터와 유해 가스를 분해하는 드라이스크러버 등 친환경 제품군도 보유했다.
최근에는 플라즈마 기술을 이용한 반도체 장비 분야에도 힘을 쏟는다. 뉴파워프라즈마는 지난해 ‘차세대 플라즈마 애셔 장비기술’로 반도체 산업 차세대선도기술상을 수상했다. 지난 5월엔 시간당 400매 이상의 처리 속도를 자랑하는 300㎜ 고성능 애셔 장비를 국내 주요 반도체 기업 양산라인에 공급했다.
지난해 정부의 나노반도체장비 원천기술상용화사업의 장비 개발 사업자로 선정됐다. 삼성전자·하이닉스반도체와 성균관대학교·연세대학교 등과 함께 내년 10월을 목표로 45㎚급 고효율 스페이서 에처를 개발하고 있다. 시간당 150매 이상의 생산성 높은 장비 개발로 수입 의존도가 높은 식각장비를 국산화하고 아직 연구 단계에 그치고 있는 이중패턴기술 (DPT)에 대한 접근이 가능할 것으로 기대된다.
최근 탄소나노튜브(CNT)와 알루미늄을 결합한 고강도 복합소재를 개발한 대유신소재와 제휴, 고강도 알루미늄 나노복합체를 소재로 한 디스플레이·반도체 분야 제조장비 및 부품 개발에 나섰다. 경도가 높고 가벼운 ‘스마트 알루미늄’을 통해 반도체 장비용 히터 등을 개발한다는 목표다.
이와 함께 뉴파워프라즈는 내년 전북 전주에 신공장을 마련, 제2의 도약을 꿈꾸고 있다. 이 회사는 100억원을 투자해 2009년 7월까지 공장을 전북도공무원 교육원 부지로 이전, 애셔 장비 등을 생산할 계획이다. 수원엔 영업과 연구개발 기능을 남겨 놓을 계획이다.
* 최대규 사장 인터뷰
▲ 플라즈마 관련 사업을 시작하게 된 계기는?
- 철도청 공무원 생활을 하다 창의적인 일에 도전하고 싶어 사업을 꿈꾸고 있었다. 우연히 접하게 된 플라즈마 기술의 매력에 빠져 창업했다. 반도체 장비를 수리해 가며 기술을 익혔고 얼마 전엔 뒤늦게 플라즈마 전공으로 박사학위까지 받았다.
▲ 플라즈마 기술의 장점은 무엇이라 보는가?
- 플라즈마 기술을 사용하면 나노 수준의 정밀 가공이나 표면처리가 가능하다. 유해 물질 배출이 없는 친환경 기술이기도 하다. 반도체·LCD 공정의 초미세 나노 공정이나 PCB나 각종 전자 부품의 정밀 표면 처리 등에도 플라즈마 기술의 역할이 중요하다. 플라즈마는 응용 범위도 무한하다. 여러 산업 분야에 접목돼 현재 생각지도 못한 가치를 창출할 수 있을 것이다.
▲ 회사의 미래 모습에 대한 기대는?
-내년 전주로의 공장 이전을 계기로 생산 능력을 확충할 수 있게 됐다. 독자적인 플라즈마 발생 기술인 ‘젠코어 ICP’ 등을 바탕으로 한 플라즈마 발생 장치와 이를 활용한 반도체 장비 분야에 안착할 수 있을 전망이다. 플라즈마를 이용한 첨단 반도체 장비를 개발하고 플라즈마 기술 혁신의 중심에 선다는 목표다.
한세희기자 hahn@