에스엔유프리시젼,플라즈마 모니터링장치 특허 취득

에스엔유프리시젼이 플라즈마 모니터링 장치에 대한 특허를 취득했다.

이 기술은 디스플레이, 반도체 및 차세대 태양광 제조공정등에서 플라즈마를 이용하는 표면처리 공정에 적용되는 기술로써, 플라즈마의 방사상태를 실시간으로 모니터링하여 최적을 방사상태를 유지할 수 있어 최적의 표면처리 효과를 구현할 수 있다.

전자신문인터넷 이희영기자 hylee@etnews.co.kr