에스엔유프리시젼이 반도체 웨이퍼의 이물검사및 리페어 시스템과 그 방법에 대한 특허를 취득했다.
이 기술은 반도체나 엘시디 제조공정에서 기판을 검사하는 검사 및 리페어 공정에 적용되는 기술로써 기판상의 이물을 검사하여 기준 데이터와 비교하여 양/불을 판별하는데 활용된다.
특히 정밀측정기술과 리페어기술을 연계하여 공정수율을 향상시키고 공정효율을 극대화 시킬 수 있는 기술이라고 에스엔유프리시젼측은 설명했다.
전자신문인터넷 이희영기자 hylee@etnews.co.kr