에이디피엔지니어링, 평판표시소자 공정 챔버 특허

에이디피엔지니어링이 상부 커버를 개폐할 수 있는 개폐장치가 구비된 평판표시소자 제조장치의 공정 챔버에 대한 특허를 취득했다.