[한국전자산업대전] LCD장비 - 주요업체

　◇에스엔유프리시젼(대표 박희재)

　서울대 98년 실험실 벤처 1호 회사로 뛰어난 기술력을 자랑한다. 초정밀 반도체 측정장비, 초소형 형상 측정장비를 개발해 일본, 중국, 대만 등지에 수출하고 매출액의 20%를 연구개발비에 투입했다.

　대표장비인 CS높이측정기는 LCD 해당분야 세계시장의 약 70%를 점유할 만큼 기술력을 인정받았다. LCD 컬러 필터 공정과 셀 공정에서 포토 스페이서를 나노 수준으로 초정밀 계측하는 양질의 LCD패널 생산에 없어서는 안 될 중요한 검사 계측 장비다.

　이 회사는 올해 들어 신제품으로 태양광 관련 장비개발을 하고 있으며, 이번 전시회에 박막태양전지용 레이저 스크라이버를 소개한다. SIS-시리즈는 백색광 간섭계를 이용한 비접촉식 3차원 표면 형상 측정 장비로 다양한 시료에 대해 나노미터급 해상도로 빠른 측정을 할 수 있으며 3차원 영상을 만들어 낸다. 응용분야로는 FPD 표면검사, 반도체 멤스 부품형상 및 광부품 등이 있다. 인라인과 스탠드얼론 두 가지 모델이 있다.

　이 전시회를 통해 소개되는 박막태양전지용 레이저 스크라이버는 a-Si 및 CIGS 태양전지의 P1, P2, P3 공정에 대응하는 고속 레이저 스크라이빙 시스템으로 복수파장의 레이저를 사용해 각각 공정에 최적화된 선택을 할 수 있으며, 전용으로 개발된 광학계를 사용해 필요한 깊이와 형상으로 깨끗하게 스크라이빙할 수 있다. 또 고정밀도 구동계를 채택해 1m/s 속도에서 10㎛ 수준의 정밀도로 스크라이빙 컨트롤이 가능하다.

　◇에이디피엔지니어링(대표 허광호·이영종)

　2001년 설립된 우리나라 대표 LCD 장비업체다. 국내 최초로 드라이에처 국산화에 성공했고 반도체, 자동화, 대체에너지사업 등 다각화로 안정적인 수익구조를 갖고 있다.

　이 회사는 IMID 2008을 통해서 드라이에처, 진공합착기, 검사장비 등 8세대 LCD장비를 선보인다. 드라이에처는 LCD 기판 유리의 불순물을 플라즈마로 제거하는 장비로 5세대 장비부터 국산화하며 탁월한 기술력을 인정받았다.

　이번 전시회에 출품되는 8세대용 드라이에처는 글라스 크기가 커지면서 발생하는 공정상의 문제해결을 위해 신개념의 설계기술이 도입됐다. 에이디피엔지니어링은 용접기술을 이용한 대형 고진공 체임버 제작, 고유방식의 자동개폐시스템과 효율적인 냉각시스템을 적용하고 체임버 내부의 무빙시스템을 통합해 완성도가 높은 차세대 드라이에처를 개발했다.

　또 진공합착기는 어레이, 컬러필터 공정을 마친 글라스에 실런트와 액정을 주입하고 진공 중에서 정밀하게 정렬, 합착하는 장비로 체임버 부피 최적화를 통해 제작기간 단축과 비용 절감을 실현한 8세대용 장비가 이번 행사에 전시된다. 이와 함께 TFT/CF 패턴검사기, 매크로 검사기, MicMac 및 CD 오버레이 검사장비, 솔라셀 검사장비도 소개된다.

　올해 에이디피엔지니어링은 기존사업역량 강화와 사업다각화, 해외 진출확대 등의 성과가 가시화되고 있다. 또 6세대 장비 추가수주로, 사상 최대 매출에 10% 이상의 영업이익률 달성하며 턴어라운드 원년이 될 것으로 기대하고 있다.

◇파이컴(대표 이억기)

　반도체 및 디스플레이 검사장비의 국산화에 최초로 성공해 기술력을 인정받은 선도적 기업이다. 파이컴은 신개념 멤스(MEMS) 기술을 이용한 차세대 반도체 검사부품 멤스카드를 국내 최초로, LCD 검사부품인 멤스 유닛을 세계 최초로 개발해 경쟁사와 차별화되는 혁신적인 기술을 보유하고 있다. 이 회사는 이번 IMID 2008에 새롭게 태양전지 제조에 사용되는 레이저 장비 및 웨이퍼 가공용 레이저 장비 등 새로운 레이저 장비군을 출품한다.

　차세대 솔라셀용 레이저 스크라이빙 시스템은 신성장동력으로 일컫는 태양전지 제조에 적용되는 핵심장비로서 박막형 태양전지의 다양한 세대에 적용 가능한 레이저 스크라이빙용으로 세트업됐다. 후면 가공 시 이물질을 제거하기 위한 흡입장치가 새롭게 장착됐고 가공 후 가공된 패턴의 형상을 관측할 수 있는 관측용 카메라가 장착된 것이 특징이다.

　특히 이번 제품들은 VSLGTM(Variable Segmented Line-beam Generator) 시스템이라는 특화된 옵틱 모듈을 사용해 가공성·속도·편리성이 상당히 우수한 것으로 나타나고 있다. 솔라셀용 레이저 스크라이빙 시스템은 전 세계적으로 대체에너지 개발에 많은 투자와 연구가 진행되고 있어 그 수요가 빠르게 증가할 것으로 예상되고 있다. 파이컴은 메모리 반도체에 국한된 기술개발에서 시스템LSI 분야로의 확대를 꾀하며 끊임없이 발전하는 기업으로 성장하고 있다. 또 멤스기술을 이용해 각종 미세센서, 액추에이터, 미세 의료기기 등 다양한 응용분야로 진출을 꾀하고 있다.

　배일한기자 bailh@