“한국 11세대 LCD 패널 투자에도 도전하겠다.”
LCD용 신규 포토마스크 장비(모델명 프렉시전) 소개차 한국을 들른 볼린 마이크로닉레이저시스템 부사장<사진>은 새 제품의 주요 공략 시장이 한국임을 분명히 했다. 그는 “지난 9월 세계 최초로 일본에 10세대용 장비를 납품했다”며 이미 기술력에 대한 검증이 끝났음을 시사했다. 이 회사는 5세대 이후 LCD 패널 크기가 극대화 되면서 LCD용 포토마스크 장비 공급의 90% 이상을 차지, 사실상 관련 시장을 독점해왔다. 볼린 부사장은 “비록 LCD 시장이 위축되고 있지만 이럴때일수록 적극적으로 투자를 단행해야 한다”며 “한국을 포함한 패널 업체들이 투자 고삐를 늦추지 않을 것”이라고 말했다.
한편 IC 패키징용 포토마스크 신규 장비(모델명 FPS5300)와 반도체 제조용 포토마스크 새 장비(모델명 시그마)로 국내 반도체 관련 시장도 넘본다. LCD 포토마스크 분야서 쌓은 기술력으로 그동안 고전했던 반도체용 제품 점유율을 효과적으로 끌어 올릴 계획이다. 볼린 부사장은 “FPS5300는 이전 장비로는 불가능했던 0.75마이크로미터(㎛) 선폭까지 구현할 수 있다”며 “특히 회로폭이 바뀔때 마다 렌즈를 자동으로 교체, 생산성을 배가시킨다”고 설명했다. 시그마는 타사 제품처럼 ‘E-빔’ 방식이 아닌 레이저 방식을 채택, 공정 속도를 최고 4배까지 끌어올렸다. 볼린 부사장은 “아직 초미세 공정에서는 E-빔 방식이 유리한 것이 사실”이라면서도 “범용제품의 생산성 향상을 위해 시그마를 사용할 수밖에 없을 것”이라고 주장했다.
안석현기자 ahngija@etnews.co.kr