전자 부품 국제엘렉, 퍼니스형 반도체 설비 특허 발행일 : 2008-12-09 13:42 공유하기 페이스북 X(트위터) 메일 URL 복사 글자크기 설정 가 작게 가 보통 가 크게 국제엘렉트릭코리아는 퍼니스형 반도체 설비에 대한 특허를 취득했다고 9일 공시했다. 해당기술은 웨이퍼 보우트 주변을 둘러싸면서 공정가스를 360도 전 방향에서 분사, 공정튜브 내부에 균일한 가스 분포를 제공할 수 있다.
