산업용 로봇업체 나온테크(대표 김원경)가 반도체용 진공로봇(모델명: VACTRA)을 국산화했다고 20일 발표했다. 나온테크는 2년간의 개발과정을 거쳐서 반도체 웨이퍼 교체시간을 30% 단축한 진공로봇 2종을 세미콘 2009행사에 선보였다.
진공 로봇은 반도체 전공정의 CVD, 에처, 스퍼터등 고진공 챔버환경에서 웨이퍼를 이송시킨다. 그동안 진공로봇시장은 미국, 일본의 일부 기업이 독점해왔다. 김원경 나온테크 사장은 “부가가치가 높은 진공로봇 국산화를 계기로 다양한 고객요구사항에 대응하는 새로운 진공로봇 장비를 개발할 계획이다”고 밝혔다.
배일한기자 bailh@etnews.co.kr