반도체 LCD 장비 및 위성관련 제조업체인 코닉시스템(대표 정기로)은 2월 26일 삼성전자로부터 급속 열처리장치인 RTP시스템을 33억원에 수주했다고 2일 밝혔다.
이 장비는 반도체용 300㎜ 웨이퍼의 급속 열처리 장비로 기존에 국산화한 웨이퍼용 RTP시스템에 시스템 일체형 및 자기부상 로테이션 모듈(rotation module)을 적용해 성능을 업그레이드한 것으로 D램과 낸드 플래시 생산에 모두 사용할 수 있다.
코닉시스템은 앞으로 RTP공정의 다양화에 대비해 미세 열처리공정과 레이저 열처리 등 공정 대응 장비의 연구 개발에 집중할 계획이다.
코닉시스템 관계자는 “이번에 수주한 장비는 반도체뿐만 아니라 LED, 태양광 장비의 개발 방향과도 밀접한 관계가 있으며, 이를 바탕으로 주요 반도체·LCD·LED제조업체들을 대상으로 장비 수주를 추진하고 있다”고 말했다.
서동규기자 dkseo@etnews.co.kr