촉매를 이용, 반도체·LCD 제조공정에서 발생되는 온실가스인 과불화탄소(PFC)를 획기적으로 낮은 온도에서 제거할 수 있는 장치를 국내 중소기업이 국산화하는데 성공했다. 고온에서 처리할 때보다 적은 에너지로 유해가스를 소멸시킬 수 있어 비용절감과 함께 온실가스 저감 효과도 뛰어나다. 촉매를 이용한 PFC 제거장치는 일본 히타치에 이어 세계에서 두 번째로 개발됐다.
전자소재 전문업체 에코프로(대표 이동채)는 삼성엔지니어링에 10㎥급 대형 촉매식 PFC 제거 장치를 공급키로 했다고 14일 밝혔다. 이번에 공급할 장비는 국내 LCD 업체 양산라인에 최종 납품될 예정으로 LCD 제조공정에서 발생하는 PFC를 99% 이상 제거한다. PFC는 세계적으로 발생량이 많지 않지만 이산화탄소 대비 지구온난화지수(GWP)가 2만배 이상 높다. GWP는 이산화탄소 1을 기준으로 수치가 높을수록 온난화 유발효과가 크다는 것을 의미한다.
특히 이 회사 장비는 촉매를 이용, 비교적 낮은 온도에서 PFC를 제거할 수 있다. PFC의 경우 통상 1300℃ 이상에서 소멸된다. 에코프로 장비는 700℃에서 가스를 제거한다. 작업환경을 고온으로 올리지 않기 때문에 에너지를 크게 절감할 수 있다고 회사 측은 밝혔다. 또 1000℃ 이상 고온에서 작업할 때 생성되는 질소산화물(NOx)을 거의 발생시키지 않는다. NOx를 제거하기 위한 추가설비가 필요 없다.
이에 앞서 에코프로는 삼성엔지니어링에 1㎥급 데모 장비도 납품한 바 있다.
이동채 사장은 “촉매를 이용한 PFC 제거장치를 개발한 것은 일본 히타치에 이어 세계에서 두 번째”라며 “국내 업체들과의 데모 테스트를 통해 공급실적을 늘려갈 것”이라고 밝혔다.
안석현기자 ahngija@etnews.co.kr