반도체 및 LCD 용 블랭크마스크 전문업체인 에스앤에스텍(대표 남기수)은 18일 일본 신에츠사와 하드마스크 기술 이전 계약을 체결했다고 18일 밝혔다.
이 회사가 보유한 2건의 특허는 45nm이하 장비 제조용 차세대 블랭크마스크 기술인 하드마스크에 적용된다. 블랭크마스크는 반도체 및 LCD 공정재료인 포토마스크의 원재료로 이 회사가 국산화하기 전까지 전량 일본에서 수입해왔다. 이 회사는 세계 2위 화학소재기업인 신에츠사에 특허 사용 권한을 주고 향후 제품 판매액의 일정 비율을 로열티로 받기로 했다.
에스앤에스텍 관계자는 “이번 계약으로 일본이 독점하던 블랭크마스크 시장에 성공적으로 진출했고 차세대 블랭크마스크 시장의 주도권을 잡는 계기가 될 것”으로 전망했다.
이동인기자 dilee@etnews.co.kr