[Industry Review] 관련기관-한국전자통신연구원

　국내 대표적 IT 연구기관인 한국전자통신연구원(ETRI)은 융합부품·소재연구 부문에서 MEMS와 RFID/USN 관련 연구를 하고 있다. 특히 융합부품·소재연구 부문이 주력하고 있는 것 중 하나인 I-MEMS(Integrated-MEMS)기술 연구는 MEMS 소자와 회로 집적 기술을 통합하는 기술로, MEMS 센서 및 다양한 마이크로 시스템 구현을 위해 매우 중요한 원천기술 연구다. 현재 선진국이 독점하고 있는 I-MEMS 및 MEMS 센서기술 국산화를 촉진하기 위해 지경부 출연 연구사업(유비쿼터스용 CMOS 기반 MEMS 복합센서기술 개발)이 진행되고 있는데, 이에는 ETRI가 주관 연구기관으로 참여하고 있고 RFID/USN 센터를 포함해 9개 국내 센서업체가 참여, 가속도·압력·온/습도 센서 등 MEMS형 센서기술개발을 공동으로 진행하고 있다. 이의 일부 성과로 ETRI와 참여업체인 아이쓰리시스템이 지난 2월 ‘비냉각형 QVGA급 적외선 영상 카메라용 핵심 칩’을 개발한 바 있다. 이 칩은 선진국에서 기술이전을 회피하는 것으로, 서브 마이크론 크기의 반도체 회로설계 및 제작 기술과 수십 마이크론 크기의 3차원적 적외선 감응 구조체를 기판과 공간적으로 이격해 쌓는 전자, 기계, 재료 공학적 융합 기술이 필요한 고난도 기술이다. 현재 감도 향상을 위해 성능개선 실험이 진행되고 있으며 향후 생산기술 확보 시 전량 수입에 의존하던 핵심부품을 국산화할 수 있는 대표적 사례다. 이처럼 반도체와 기계, 재료, 전자기술 등이 융합되는 I-MEMS기술은 센서부품의 지능화와 소형화 및 에너지 절감, 그리고 정밀 시스템 구현이 가능하므로 산업 전 분야에 걸쳐 파급효과가 매우 큰 미래 핵심기술이다. I-MEMS의 향후 중점 연구분야는 post-CMOS와 pre-CMOS 공정기법의 I-MEMS 개발이다. 국내는 반도체산업과 IC 파운드리가 잘 발달돼 있어 이들을 RFID/USN 팹과 연계, 지능형 I-MEMS 센서를 개발하면 낙후된 국내 센서산업의 가치를 한 단계 끌어올릴 수 있을 것으로 ETRI는 내다보고 있다.