반도체를 1시간에 4만개까지 검사할 수 있는 고속 검사장비가 상용화돼 삼성전자 반도체 생산라인에 공급됐다.
한국기계연구원 지능형생산시스템연구본부 이창우 박사팀은 인텍플러스(대표 임쌍근)와 공동으로 지식경제부 특구연구개발사업의 지원을 받아 반도체 칩 검사 속도를 기존보다 2배 이상 향상시킨 4만 UPH(시간당 생산량)급 장비를 상용화했다고 25일 밝혔다.
연구팀은 이 장비가 최근 삼성전자 반도체 생산라인에 적용돼 1시간에 4만개의 반도체 칩을 검사하고 있다고 설명했다.
이 검사장비에는 새로 개발한 고속 측정 모듈이 탑재됐다. 기존 핸들러보다 40%이상 가볍게 만들어 반도체 검사 라인의 생산성을 2배 이상 높였다.
이 검사장비는 반도체의 불량여부를 판단하는데 반드시 필요하다.
이창우 박사는 “불량여부를 측정하는 헤드를 우리 기술로 개발해 장비를 완성하는데 결정적인 기여를 했다”며 “반도체 검사 장비의 선두주자 벨기에가 70%이상 독점하고 있는 국내시장에 새로운 전기가 마련된 셈”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr