한국반도체산업협회(회장 권오현)는 8일 서울 양재동 서울교육문화회관에서 지식경제부의 ‘차세대 반도체 장비 및 소자 표준화 기술개발 사업’ 일환으로 ‘2009 세계 반도체장비재료협회(SEMI) 스탠더드 워크숍’을 개최, 국내·외 표준화 활동을 소개한다고 6일 밝혔다.
특히 이번 워크숍에선 해외 전문 기술진들을 초청, 현재 가장 주목을 받고 있는 450㎜ 웨이퍼 관련 국제연구기관(SEMATECH)의 개발 및 표준화 활동을 발표할 예정이다. 또한 반도체 장비의 에너지 소비량 감소에 대한 SEMI 표준 ‘SEMI S23’의 중요성이 높아지고 있어 이에 대한 적용사례를 발표한다.
안수민기자 smahn@etnews.co.kr