반도체장비 부품 업체 코미코가 세계적인 장비 업체인 일본 도쿄일렉트론(TEL)과의 세라믹소재(Y2O3) 용사 코팅 기술 특허 분쟁에서 승소했다. 이 기술은 세라믹 입자들을 코팅용 분말로 사용해 정전척·세라믹히터 등 증착(CVD) 장비의 핵심부품에 용융 분사, 반도체 장비 부품의 내구성과 신뢰성을 높이는 것이다.
코미코(대표 전선규, 류종윤)는 일본 TEL이 본사를 대상으로 한 ‘세라믹 소재 용사 코팅 특허 심결 취소’ 소송에서 특허법원이 이를 기각했다고 3일 밝혔다. 특허청·특허심판원에 이어 대법원격인 특허법원도 TEL의 소송을 기각, 코미코는 특허 논쟁을 완벽하게 불식시키는 전기를 마련한 것으로 평가된다.
특히 코미코는 이를 계기로 해외 반도체 장비 시장 진출의 걸림돌을 해소했다. 일본 TEL이 세라믹 소재 용사 코팅 기술 관련 국내 특허 싸움에서 패소한 탓에 대만·미국 등에서도 특허 분쟁이 발생할 경우 TTE의 특허 침해 주장에 정면 반박하는 판례를 코미코가 확보했기 때문이다. 코미코는 이미 세라믹 소재 용사 코팅 기술 관련 개량 특허를 4건 국내 등록, 세라믹 소재 용사 코팅 기술의 주도권을 쥘 수 있게 됐다.
코미코 관계자는 “TEL의 특허 심결 취소 소송이 대법원에서 이번에 최종 거절돼 특허 침해 소송에서 자유롭게 됐다”며 “국내 세라믹 코팅 시장 점유율 70%를 더욱 확대하고 대만·미국 등 해외 법인들이 세라믹 소재 용사 코팅 사업을 적극 전개할 수 있게 됐다”고 말했다.
안수민기자 smahn@etnews.co.kr