한국표준과학연구원(KRISS·원장 김명수) 산업측정표준본부 진공센터(센터장 홍승수)는 지난 14일 일본진공공업회(JVIA) 회원 15명이 한국 연구기관의 진공시설을 벤치마킹하기 위해 방문했다고 15일 밝혔다.
이들은 일본 내 진공장비 구축을 위해 한국표준과학연구원의 진공게이지 교정,시험 장치 및 공정 펌프 평가기술, 진공밸브 시험 등을 돌아봤다.
일본진공공업회는 지난 1985년 설립됐다. 현재 일본 내 진공기기 및 설비 등을 생산, 판매하는 135개 업체가 회원으로 등록돼 있으며, 진공교육연수 실시 및 관련분야 시장조사, 기술규격, 전시회 개최 등을 진행하고 있다.
KRISS를 방문한 일본 신코 세이키사 국제마케팅부 타카다 히로키씨는 “그동안 부품의 코팅방법 및 장비에 많은 관심을 가지고 있었다”며 “다양한 증착, 평가 장치를 보유한 KRISS의 시스템을 일본내 펌프 평가 장비 실험실 구축과 국제규격에 맞는 펌프 평가 시스템 개발에 활용할 것”이라고 말했다.
특히, 이번 방문에서 일본 측은 진공펌프 평가기술 및 실험실 구축 등에 대해 큰 관심을 나타냈다. 반도체 제조공정에서 발생하는 진공펌프 운전 중 성능저하나 돌발중지 현상 등이 관련 공정의 신뢰성 저하로 이어지지만 표준연이 보유한 장비는 공정 투입 전 펌프의 사전 징후를 포착함에 따라 공정 과정 중 발생할 수 있는 돌발 상황을 사전에 방지할 수 있다.
표준연은 현재 국내 반도체 업계뿐만 아니라 영국, 프랑스, 일본, 독일 등 세계 각국의 관련 분야 업체에 지속적인 기술자문을 실시하고 있다. 표준연이 보유하고 있는 진공펌프 특성평가 기술 및 이를 이용한 실험실에서의 측정결과는 세계 최고 수준이다.
홍승수 센터장은 “진공산업은 신기술 개발의 밑거름이 되는 기술이며 특히, 반도체 및 디스플레이 산업 등은 우리나라 주력 산업의 근간이 되는 기술”이라며 “앞으로 진공 핵심부품 국산화 및 기술경쟁력 확보에 주력할 계획”이라고 말했다.
대전=박희범기자 hbpark@etnews.co.kr