[반도체 특집] 주요 업체-피엔티

　피엔티(대표 김준섭 www.epnt.co.kr)는 반도체 웨이퍼 그라인딩 장비인 ‘PWG-300’을 독자 기술로 개발, 반도체 전문업체로 변신했다.

　이 장비는 국내 최초로 직경 300㎜ 반도체 웨이퍼용 연마설비라는 점에서 세계 기술과 어깨를 나란히 한다. 차세대 반도체 웨이퍼의 대형화 추세에 맞는 시장 수요에 대응하는 것은 물론 설비 구조물의 진동 제어를 가능하게 하는 안정화 설계 기술을 반영한 것이 특징이다.

　무진동 운전 성능도 뛰어나다. 장비 운용시 진동 측정 결과, 운전시에는 평균 2㎛ 이하에 불과하고 외부 영향이 미미할 경우에는 1㎛ 이하로 뛰어나다. 이는 해외 주요 반도체 웨이퍼 가공 설비 기업들의 기술력을 훨씬 앞서는 것으로 평가된다. 피엔티 측은 개발 과정에서 모든 내·외부적 진동 요인을 제어해 나가면서 타 기업 설비와 비교해 월등히 우수한 웨이퍼 품질을 자랑할 수 있게 됐다고 밝혔다.

　코팅 및 슬리팅 장비로 이미 국내외 시장에서 두각을 나타내고 있는 피엔티는 3M·LG전자·LG화학·LG마이크론·두산전자 등 수십여 업체에 장비를 공급하고 있으며, 일본·중국·인도·폴란드 등 10여개 국가에 슬리터와 라미네이팅 장비를 수출했다.

　또 웨이어 전 단계인 잉곳을 자르는 와이어 소우(Wire Saw)와 스쿼링 머신(Squaring Machine), 첨단 소재로 각광받고 있는 발광다이오드(LED)를 가공하는 풀 오토매틱 사파이어 연마기도 개발했다. 특히 그동안 일본 기술에 의존해 왔던 첨단 산업 설비의 국산화를 이뤘다는 점에서 주목된다.

　한편 피엔티는 플레시블 디스플레이용 필름을 도금할 수 있는 장비도 개발해 특허를 출원한 상태며, 신성장동력으로 주목받고 있는 솔라 셀 사업도 추진해 사업 다각화에 적극 나선다는 방침이다.