LCD·태양광 장비 업체인 에스엔유프리시젼(대표 박희재)이 반도체 장비 시장 진출에 시동을 걸었다.
이 업체는 지식경제부가 주관하는 나노반도체 장비 원천기술 상용화 사업자로 최종 선정됐으며 개발에 박차를 가하고 있다고 14일 밝혔다.
이번 사업은 3년에 걸쳐 정부 지원을 받아 반도체 집적도와 반도체 생산의 수율에 직접적인 영향을 미치는 CD(Critical Dimension:임계치수) 값을 인라인 공정 중에서 측정할 수 있는 전자현미경 장비를 개발하는 것이다. 특히 외산 장비 업체가 100% 점유한 반도체 측정장비의 국산화 사업으로 기대를 모았다.
에스엔유프리시젼 관계자는 “관련 핵심 기술과 부품 국산화가 이미 상당한 수준으로 진척됐으며, 상용화가 성공적으로 이뤄질 경우 삼성전자 등에 공급이 가능할 것”이라며 “LCD, OLED, 태양광 장비사업과 더불어 반도체 사업을 차세대 성장동력으로 집중 육성하는 계기가 될 것”이라고 말했다.
이 회사는 전 세계 LCD 검사 및 측정장비 시장의 70% 이상의 점유하고 있으며, 지난 2007년에는 미국 나노메트릭으로부터 반도체 측정 및 검사장비 분야의 원천 특허를 양수한 바 있다.
양종석기자 jsyang@etnews.co.kr