저온에서 고순도의 나노입자를 만들 수 있는 나노입자 활성장비를 국내 벤처기업이 개발했다.
반도체장비 전문 벤처기업인 네스트(대표 홍순일)는 고밀도 플라즈마 소스 기술을 활용해 나노입자를 생성할 수 있는 130W(와트)급 나노입자 활성장비를 개발, 포항공대 나노집적센터에 공급했다고 15일 밝혔다.
네스트는 이 장비를 학교와 연구소 등에 연구개발(R&D)용으로 보급하고, 이를 토대로 실제 현장에서 생산용으로 사용할 수 있는 대용량 장비도 개발할 예정이다. 이 회사가 개발한 나노입자 활성장비는 기체상태에서 곧바로 나노입자를 추출해 내는 것이 특징이다. 기체 상태의 물질이 고밀도 플라즈마층을 통과하면서 화학적 반응에 의해 입자가 만들어 지도록 한 것. 이에 따라 저온에서 나노입자를 합성하는 것이 가능하고, 순도가 높은 나노입자을 얻을 수 있다. 특히 기존 방식의 문제점으로 지목돼 온 나노분말의 응집현상을 해소한 것도 장점이다.
그동안 나노입자를 만들기 위해서는 물질을 분쇄해 미세한 분말로 만들거나 이를 고열로 녹여 액화시킨 뒤 다시 응고시키는 등의 방식이 주로 사용돼 왔다. 하지만 이같은 방식은 크기를 줄이는데 한계가 있고, 고열을 동반하는데다 나노분말이 응집되는 등의 문제가 있었다.
반면 이 회사가 개발한 장치는 기체 상태의 물질이 플라즈마에 머무르는 시간을 조절하는 것으로 최소 2nm(나노) 크기의 입자를 만들어 낼 수 있다. 특히 플라즈마를 통과한 입자는 음전하를 띄기 때문에 입자의 응집되는 현상도 거의 없다. 이 장비는 또 반도체 공정 챔버와 동일한 구조로 설계해 진공관 내에서 반도체 장비와 통합해 사용할 수도 있다.
홍순일 사장은 “최근 국책과제로 전력 사용량을 10KW까지 높일 수 있는 대용량 장비 개발을 추진하고 있다”며 “이미 디자인 개발은 완료했고, 내년 1월께에는 테스트까지 가능토록 할 계획”이라고 밝혔다.
수원=김순기기자 soonkkim@etnews.co.kr