전자·기계 소자를 반도체 기술을 이용해 머리카락보다 작은 크기로 제작하는 기술로 전자·기계의 소형화·고집적화에 필수적인 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems·초소형 미세공정 시스템) 분야에서 우리나라도 8인치 일관공정을 구축했다.
아시아 다섯 번째, 세계 열 번째인 이번 8인치 웨이퍼 MEMS 공정은 우리나라가 전자·기계 소자 강국으로 도약하기 위해 꼭 갖춰야 하는 시설이다.
17일 정보통신산업진흥원 부설 RFID/USN센터(RUC·센터장 신상철)는 약 687원을 투입해 국내 유일의 MEMS 8인치 웨이퍼 양산 시설 구축을 완료했다고 밝혔다. 센터는 이번 MEMS 팹 일관 공정 구축을 위해 지난해부터 올해까지 687억원을 투입해 △실리콘 건식식각 장비 △웨이퍼 접합 장비 (Wafer Bonder) △전기도금 장비(Electroplating) 같은 주요 MEMS 장비 101를 도입했다. 이로써 센터는 포토부터 식각·접합·확산·박막·측정·분석 등 MEMS 양산을 위한 주요 공정을 하나로 구비한 일관 공정 체제를 갖추게 됐다.
특히 세계 MEMS 시장이 6인치에서 8인치로 넘어가는 변환기에 있는 가운데 8인치 웨이퍼를 양산할 수 있는 MEMS 일관 공정을 갖춰 더 주목받고 있다. 통상 8인치 웨이퍼는 6인치 웨이퍼보다 면적이 약 두 배 정도 커 그만큼 생산성과 수율이 높아져 가격경쟁력을 끌어올릴 수 있다. 신상철 센터장은 “반도체 산업이 메모리, 비메모리 및 LED를 거쳐 MEMS 산업으로 이어질 것으로 전망될 만큼 세계적으로 MEMS 산업이 부상하고 있다”면서 “이번 센터의 MEMS 팹 장비 구축 완료에 따라 관련 국내 MEMS 산업 발전은 물론 기업의 경쟁력 제고에도 일조할 것”이라고 밝혔다.
인천=방은주기자 ejbang@etnews.co.kr