독일 유기금속화확증착장비(MOCVD) 전문업체 엑시트론(지사장 최은숙)은 대만 발광다이오드(LED) 전문업체 ‘세미레드’에 4인치 에피웨이퍼용 MOCVD를 공급한다고 18일 밝혔다.
이번에 공급될 장비는 세미레드의 LED 에피웨이퍼·칩 신규 라인에 반입될 예정으로 ‘CCS’ 기술이 적용됐다.
이 회사의 CCS타입 MOCVD는 증착 균일도를 높이기 위해 반응기 안쪽 가스 주입구를 마치 사워기처럼 수많은 구멍이 뚫린 형태로 제작한다.
안석현기자 ahngija@etnews.co.kr