첨단 핵심부품소재 전문기업인 시노펙스가 웨이퍼 가공 시 발생되는 폐수를 재활용 하는 ‘웨이퍼가공폐액 재활용 시스템’ 개발에 성공했다고 12일 밝혔다.
이 회사가 개발한 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 반도체 제조 공정 중 발생하게 되는 웨이퍼 폐수 속의 각종 물질을 분리 및 정제해 깨끗한 물로 처리해 재활용 가능하게 하는 설비이다.
시노펙스는 웨이퍼가공폐액 재활용 시스템 개발로 폐수의 98% 이상 재활용 할 수 있다고 설명했다. 또한 이 시스템은 친수성과 내오염성이 강한 폴리아크릴로니트릴계 분리막을 탑재해 복잡한 처리 과정을 한 번에 일괄 처리한다는 장점이 있다.
손경익 시노펙스 사장은 “웨이퍼가공폐액 재활용 시스템은 산업현장의 친환경 설비로 현재 특허 출원 준비 중”이라며 “깨끗한 물의 수요가 증가함에 따라 물처리 관련 토털 솔루션을 바탕으로 명실상부한 물처리 전문기업으로 도약할 계획”이라고 밝혔다.
한편, 가트너 데이터퀘스트에 따르면 세계 웨이퍼 폐수 처리 시장은 약 5000억원 규모로 미래산업인 태양광·반도체 부분 등의 시장이 점점 각광받게 됨에 따라 그 시장 규모가 더욱 커질 전망이다.
함봉균기자 hbkone@etnews.co.kr